Zeramikazko substratu isolatzailearen materiala

Ondorioz, isolatzaileak egitekozeramikazko substratua, bero-eroapen-tasa eta erresistentzia mekaniko handiak izatea eskatzen da. Zeramikazko substratuak isolatzeko material gisa, zerrendatu daiteke, hala nola, aluminio nitruroa eta silizio nitruroa, baina isolamendurako.zeramikazko substratuaaluminio nitruroa erabiliz, bero-eroapen-tasa handia delako baina erresistentzia mekanikoa baxua denez, erraza da pitzadura horiek sortzea. Zeramikazko substratuari tentsio handia aplikatzeko erabiltzen den egitura mota honetako potentzia erdieroaleen modulua. Hori dela eta, 1 patente-literatura honetan, silizio nitrurozko plakaren adibide bat publikoki iragartzen da eroankortasun termiko baxuko beira fasearen erlazioa murrizteko eta eroankortasun termiko baxuko silizio nitruro plakaren eroankortasun termikoa areagotzeko. Teknika honen lehen adibide ezaguna da honako hau;

Horrez gain, honako patenteen literaturan 2, silizio nitruroaren kasuakzeramikamaterialak publikoki ezagutarazten dira kristal-erreinuaren barnekotasuna egiteko, silizio nitruro-aleak lente barneko kristal-fasean sendoago konbinatu daitezen. Intentsitatea hobetzeko. Teknologia ezagutzen den bigarren adibidea da; gainera, hurrengo patenteen literaturan 3, silizio-nitruroa beroa xahutzeko osagaien argitalpenaren adibide bat publikoki eskuragarri dago. Silizio-nitruroa beroa xahutzeko piezak. Teknologia da hirugarren adibide ezaguna; horrez gain, honako patenteen literaturan 4, silizio nitruroa sinterizatzeko gorputzaren adibideak daude. Sarkasmoa eragin bikainarekin.