Silizio nitrurozko plaka eta bere fabrikazio-metodoa

Patentearen izena:Silizio Nitruroa Substratuaeta bere fabrikazio-metodoa, eta silizio nitrurozko plaka eta erdieroaleen moduluaren ekoizpen-metodoa silizio-nitruro-plaka erabiliz.
Arlo teknikoa:
Asmakuntza honek dakarSilizio Nitruroa Substratuaeta bere fabrikazio-metodoak. Horrez gain, asmakizunak silizio nitrurozko zirkuituaren substratuak eta erdieroaleen moduluak erabiltzea dakar aurrekoa erabiliz.Silizio Nitruroa Substratua.
Atzeko teknika:
Azken urteotan, ibilgailu elektrikoen alorretan eta beste alorretan, potentzia erdieroaleen modulua (Power Semiconductor Module) (IGBT, potentzia MOSFET, etab.), tentsio handiko eta korronte handiarekin lan egin dezakeena. Potentzia erdieroaleen moduluan erabiltzen den substraturako, zeramikazko substratu isolatzaile baten gainazal bat metalezko zirkuitu plaka batekin konbinatzeko erabil daiteke eta beste gainazale batean metal erradiadorearen plaka duen zeramikazko zirkuitu substratua erabil daiteke. Horrez gain, metalezko zirkuitu plakan elementu erdieroaleak eta abar. Aipatutako zeramikazko substratu isolatzaileen konbinazioa metalezko zirkuitu plakekin eta metalezko bero-hustugailuekin, hala nola kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrean oinarritutako kobrea, zuzenean konektatuta dago. juridikora. Horrelako potentzia-modulu erdieroale baterako, beroaren xahupena handiagoa da korronte handietatik igaroz. Hala ere, goian aipatutako substratu zeramikazko isolatzailea eroankortasun termikoaren aldetik baxua denez, osagai erdieroaleen beroa xahutzea oztopatzen duen faktore bihur daiteke. Horrez gain, estres termikoaren sorrera zeramikazko substratu isolatzailearen eta metalezko zirkuitu plakaren eta metalezko bero-hustugailuaren plakaren arteko hedapen termikoaren tasak eragiten du. Ondorioz, zeramikazko substratu isolatzailea pitzatzen eta suntsitzen ari da, edo metalezko zirkuitu plaka edo metalezko beroa xahutzea. Taula zeramikazko substratu isolatzailetik kentzen da.